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金色PVD镀膜是目前最常见的镀膜颜色之一,在镀膜颜色丰富多彩的今天,金色依然经久传承,被客户一直沿用。而越是这种经典的颜色,膜层的质量越需要得到保证。接下来就和大家分享金色PVD镀膜质量的影响因素和管控措施:
首先是货品的清洁度,它直接影响膜层的附着力,因此入炉前要采用清洁工艺进行清洁,在沉积薄膜之前,利用辉光放电气体离子可对货品进行轰击实现溅射清洁;其二是靶材表面的清洁度及靶材的纯度,靶材表面是否清洁也会直接影响膜层的附着力,空打时靶电流不宜过大,以免靶材升温太高,在冷却效果不是很好的情况下被氧化,空打完毕后须冷却一段时间方能开门入炉;其三是基体偏压,对工件施加偏压不仅能增加入射原子的能量,还能使生长中的薄膜不断受到Ai+的轰击,清除可能进入薄膜表面的气体,提高膜的纯度,并且可以清除附着力较差的沉积粒子,净化表面,从面提高了膜层的附着力,但若偏压过高则有可能导致沉积速率的减缓及对光的折射度的降低。其四是炉内真空度的高低,真空度越高,环境越清洁,膜的纯度和质量就越好。
以上是和大家分享的金色PVD镀膜过程中影响膜层的常见因素,做好这些工作,膜层的质量才更有保证。
【Keywords】 金色PVD镀膜
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